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微机电系统及其相关技术

作者:章吉良,杨春生
出版社:上海交通大学出版社
格式：pdf,txt
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微机电系统及其相关技术内容简介

pdf电子书免费下载:《微机电系统及其相关技术》(txt, pdf格式),本书作者为章吉良,杨春生,于2000年1月,由上海交通大学出版社正式出版。

微机电系统及其相关技术部分内容

本书介绍了微机电系统概论；高深宽比微加工技术；微传感器与微执行器；键合技术；微机电系统的相关电路及应用实例等。
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